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产品展示/PRODUCTS
ted pella桌上小型离子溅射仪
主要特性
一、自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和佳的导电喷镀效果。
二、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
三、操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
四、在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,
五、通过使用高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
六、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和佳的镀膜效果。
可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。
技术参数
溅射系统 | |
样品室大小 | 直径150mm x 165mm 高 高度可调:165mm-250mm |
靶材 | Au 靶为标配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件);大小:直径57mm x 0.1mm厚 |
样品台 | 可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为60mm |
溅射控制 | 微处理器控制,安全互锁,可调,大电流40mA,程序化数字控制 |
溅射头 | 低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩,具有溅射挡板保护溅射头 |
模拟计量 | 真空: Atm - 0.001mbar,电流:0-50mA |
厚度监控 | 使用高分辨厚度控制仪(选件)可自动终止溅射过程。 |
控制方法 | 自动气体换气和泄气功能,自动处理排序,带有“暂停”控制的数字定时器(0-300s),自动放气 |
真空系统 | |
真空泵 | 2直连式高速真空泵 |
抽气速率 | 160L/MIN |
噪音 | ≤56dB |
限真空 | 5 x 10-4mbar |
更新时间:2024/4/1 15:43:56
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